湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
工件放人炉内作为阴极,炉体作为阳极,再通人少量氨、氮或氮亚混合气体,然后在两极间施加一定电压使氮电离,氮电离后即以髙速冲击工件,离子的动能转化为热能将工件加热至渗氮温度。
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在运行的射频辉光放电等离子体中,离子氮化炉,由于离子和电子迁移率的不同将导致阴极负偏压的形成,在阴极表面建立一个直流负偏压是进行射频溅射工艺的---条件。两个面积相等的电极置于射频辉光放电等离子体中,不可能建立阴极靶表面的负偏压,不可能产生溅射。
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在置有板状电极的玻璃管内充入低压(约几毫米厷柱)气体或蒸气,当两极间电压较高(约1000伏)时,稀薄气体中的残余正离子在电场中加速,有足够的动能轰击阴极,产生二次电子,经簇射过程产生更多的带电粒子,使气体导电。辉光放电的特征是电流强度较小(约几毫安),温度不高,故电管内有特殊的亮区和暗区,呈现瑰丽的发光现象。
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