丰热科技有限公司-离子氮化炉

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），制造辉光离子渗氮炉的---企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

溅射靶起辉放电后，当电源的输出脉冲的重复频率足够高时，由于真空腔体内的导电离子还没有完全被中和完毕，第二个(以后)重复脉冲的复辉电压与溅射靶的工作电压接近或相同。当电源输出脉冲的重复频率很低(例如几百hz以下)或灭弧时间过长(大于100ms以上)，离子氮化炉，溅射靶起辉放电后，由于真空腔体内的导电离子已基本被中和掉，第二个(以后)重复脉冲的复辉电压恢复至较高数值，与点火起辉时的高电压接近或相同。??

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），制造辉光离子渗氮炉的---企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

roth等人用离子捕获原理解释apgd，即当所用工作电压频率高到半个周期内可在极板之间捕获正离子，又不高到使电子也被1捕获时，将在气体间隙中留下空间电荷，它们影响下半个周期放电，使所需放电场强明显降低，有利于产生均匀的apgd。