湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
roth等人在实验室的一台气体放电等离子体实验装置中实现了ar、he和空气的“apgd”。1993年okazaki小组利用金属丝网(丝直径0.035mm,325目)电---pet膜(介质)、频率为50hz的电源,在1.5mm的气体(亚气、氮气、空气)间隙中做了大量的实验,并宣称实现了---压辉光放电。
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辉光离子渗氮的特点有:离子轰击有净化表面作用,自动去除钝化膜,不锈钢、耐热钢材料无需预先去除钝化膜,可使不锈钢、耐热钢工件直接渗氮。化合物层结构、渗层厚度和组织可以控制。处理温度范围较宽,即使在350℃以下也能获得一定厚度的渗氮层。
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用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双极性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。?双极脉冲中频靶电源用于辉光放电?。矩形波或正弦波中频靶电源进行1气体辉光放电有很多共同特点
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