山东氮化炉-湖北丰热科技有限公司

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    2020-11-9

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湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

磁控靶射频放电的阴极是电容耦合电极,氮化炉,阳极接地;射频电压可以穿过任何种类的阻抗,所以电极就不再要求是导体;电容耦合穿过绝缘材料或空间,电极就不再限于导电材料,可以溅射任何材料,因此射频辉光放电广泛用于绝缘或介质材料的溅射沉积镀膜。


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离子渗氮是在真空室内进行的,工件接高压直流电源的负极,真空钟单接正极。将真空室的真空度抽到66.67pa后,充人少量氮气或氢气、氮气的混合气体。当电压调整到400~800v时,氮即电离分解成氮离子、氢离子和电子,并在工件表面产生辉光放电现象。正离子受电场作用加速轰击工件表面,使工件升温到渗氮温度。氮离子在钢件表面获得电子,还原成氮原子而渗人钢件表面并向内部扩散,形成渗氮层。


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在射频辉光放电空间中,高频电子震荡已能产生足够的工作气体电离,对二次电子发射的依耐性减少了。射频磁控溅射气体放电时等离子阻抗低,工作气体击穿点火电压和维持异常辉光放电电压比中频靶电源时又要降低很多(点火电压只有直流放电等离子辉光放电时的五分之一~八分之一)。??


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