湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),离子渗氮,制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
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辉光离子氮化是指利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法。采用---的辉光离子氮化炉,以工件为阴极,炉体为阳极,当炉内真空度抽至(1~0.1pa)后通入氨气,使真空室内压力约为66.65~1333.2pa。
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?选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率---并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层要求较高的溅射工艺。??一般来说,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2pa)。??
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