湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），制造辉光离子渗氮炉的---企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
1933年德国von engel首1次---了研究结果 ，利用冷却的裸电极在---压氢气和空气中实现了辉光放电，但它很容易过渡到电弧，并且必须在低气压下点燃，即离不开真空系统。1988年，kanazawa等人---了在---压下使用---气获得了稳定的apgd的研究成果，并通过实验总结出了产生apgd要满足的三个条件：（1）激励源频率需在1khz以上；（2）需要双介质dbd；（3）必须使用---气气体。此后，离子氮化炉，日本的okazaki、法国的massines和美国的roth研究小组分别采用dbd的方法，用不同频率的电源和介质，在一些气体和气体混合物中宣称实现了---压下“apgd”。
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?选用正弦波中频靶电源，由于波形的原因，靶面产生打弧的几率---并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层要求较高的溅射工艺。??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2pa)。??
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利用稀薄气体的辉光放电现象加热工件表面和电离化学热处理介质，使之实现在金属表面渗入欲渗元素的工艺称为辉光放电离子化学热处理，简称离子化学热处理。因为在主要工作空间内是等离子体，故又称等离子化学热处理。
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