辉光离子氮化-丰热科技

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    2020-9-29

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湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,辉光离子氮化,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

将两个面积不相等的电极置于射频(例如13.56mhz)辉光放电离子体中形成非对称放电,面积小的那个电容耦合阴极有可能形成并建立阴极靶表面的负偏压,并能产生溅射。?电容耦合型射频(rf)放电电极自给偏压的形成,可以防止绝缘层表面正电荷的积累,有助于射频放电的维持。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值,1高时可达千伏量级。


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溅射靶起辉放电后,当电源的输出脉冲的重复频率足够高时,由于真空腔体内的导电离子还没有完全被中和完毕,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压与溅射靶的工作电压接近或相同。当电源输出脉冲的重复频率很低(例如几百hz以下)或灭弧时间过长(大于100ms以上),溅射靶起辉放电后,由于真空腔体内的导电离子已基本被中和掉,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压恢复至较高数值,与点火起辉时的高电压接近或相同。??


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针对辉光离子渗氮炉热处理的全自动控制等方面的课题,公司坚持走科研成果产业化、产学研结合的道路。实现了辉光离子渗氮炉真正的全自动控制,即用户在使用辉光离子渗氮炉时,只需在触摸屏上---启动键,所有的操作步骤会由程序自动控制。


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