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roth等人在实验室的一台气体放电等离子体实验装置中实现了ar、he和空气的“apgd”。1993年okazaki小组利用金属丝网(丝直径0.035mm,325目)电---pet膜(介质)、频率为50hz的电源,在1.5mm的气体(亚气、氮气、空气)间隙中做了大量的实验,并宣称实现了---压辉光放电。


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操作比气体渗氮复杂,需要控制的厂艺参数多,测量温度和控制温度均匀比较难;装炉有严格要求,装炉---或形状不同、大小不同的零件混装炉容易出现渗层不均匀等疵病,离子渗氮,造成废品或返修;设备费刚贵,有时需要配置辅助阳极等。


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?选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率---并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层要求较高的溅射工艺。??一般来说,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2pa)。??


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