湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
磁控靶射频放电的阴极是电容耦合电极,阳极接地;射频电压可以穿过任何种类的阻抗,所以电极就不再要求是导体;电容耦合穿过绝缘材料或空间,电极就不再限于导电材料,可以溅射任何材料,因此射频辉光放电广泛用于绝缘或介质材料的溅射沉积镀膜。
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采用不同成分的放电气体,可以在金属表面渗入不同的元素。和普通化学热处理相同,根据渗入元素的不同,有离子渗碳、离子渗氮、离子碳氮共渗、离子渗硼、离子渗金属等等。其中离子渗氮已在生产中广泛地应用。低压气体中显示辉光的气体放电(空气中的电子大概在1000对/cm3,由于高压放电现象在低气压状态下会产生辉光现象)现象。
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1992年,roth小组在5mm---气间隙实现了apgd,并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了apgd, 主要的实验条件为湿度低于15% 、气体流速50l/min、频率为3khz的电源并且和负载阻抗匹配。他们认为“离子捕获”是实现apgd的关键。
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