湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
根据电流脉冲个数及lisajous图形(x轴为外加电压,y轴为放电电荷量)的不同,他们提出了区分辉光放电和丝状放电的方法,即若每个外加电压半周期内仅1个电流脉冲,离子氮化炉,并且lisajous图形为两条平行斜线,则为辉光放电。若半周期内多个电流脉冲,并且lisajous图形为斜平行四边形,则为丝状放电。
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射频磁控溅射气体放电时,由于射频靶电源输出交变高频正弦电压波形,致使电子碰撞工作气体的几率大为增多,工作气体离化率高,等离子阻抗低,射频磁控溅射膜层沉积速率为二极射频溅射的---。辉光放电的特征是电流强度较小(约几毫安),温度不高,故电管内有特殊的亮区和暗区,呈现瑰丽的发光现象。 。
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操作比气体渗氮复杂,需要控制的厂艺参数多,测量温度和控制温度均匀比较难;装炉有严格要求,装炉---或形状不同、大小不同的零件混装炉容易出现渗层不均匀等疵病,造成废品或返修;设备费刚贵,有时需要配置辅助阳极等。
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