离子氮化炉-湖北丰热科技

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），制造辉光离子渗氮炉的---企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

从上个世纪末，国内许多单位如科罗纳实验室、清华大学、大连理工大学、华北电力大学、西安交通大学、华中科技大学、中科院物理所、---等先后开始了对apgd的研究。由于apgd在织物、镀膜、、薄膜材料等技术里域有着---的工业化应用前景，离子氮化炉，在---压下和空气中实现辉光放电产生低温等离子体一直是---学者探寻的---和---。

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），制造辉光离子渗氮炉的---企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

将两个面积不相等的电极置于射频(例如13.56mhz)辉光放电离子体中形成非对称放电，面积小的那个电容耦合阴极有可能形成并建立阴极靶表面的负偏压，并能产生溅射。?电容耦合型射频(rf)放电电极自给偏压的形成，可以防止绝缘层表面正电荷的积累，有助于射频放电的维持。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值，1高时可达千伏量级。