离子氮化炉-湖北丰热科技

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    2020-8-25

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湖北丰热科技有限公司提供离子氮化炉-湖北丰热科技。







湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

1933年德国von engel首1次---了研究结果 ,利用冷却的裸电极在---压氢气和空气中实现了辉光放电,但它很容易过渡到电弧,离子氮化炉,并且必须在低气压下点燃,即离不开真空系统。1988年,kanazawa等人---了在---压下使用---气获得了稳定的apgd的研究成果,并通过实验总结出了产生apgd要满足的三个条件:(1)激励源频率需在1khz以上;(2)需要双介质dbd;(3)必须使用---气气体。此后,日本的okazaki、法国的massines和美国的roth研究小组分别采用dbd的方法,用不同频率的电源和介质,在一些气体和气体混合物中宣称实现了---压下“apgd”。


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双极性脉冲中频靶电源一般带孪生靶或双靶运行。两个靶的工作电压极性相反同时又不断互换极性,电压极性为负时的磁控靶发生溅射,极性为正时的那个磁控靶不产生溅射。??由于阴阳极间电场正负极性来回变化,使电子路径延长,与工作气体碰撞次数增加,故单个磁控靶承载同样功率(其它真空环境条件相同)时,选用双极脉冲中频靶电源比用纯直流靶电源和脉冲直流中频靶电源时,工作气体的离化几率和靶材的沉积速率均要高一些。??磁控靶阴极电压极性为负时,其单脉冲气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律(趋势)相符。??


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离子渗氮是在真空室内进行的,工件接高压直流电源的负极,真空钟单接正极。将真空室的真空度抽到66.67pa后,充人少量氮气或氢气、氮气的混合气体。当电压调整到400~800v时,氮即电离分解成氮离子、氢离子和电子,并在工件表面产生辉光放电现象。正离子受电场作用加速轰击工件表面,使工件升温到渗氮温度。氮离子在钢件表面获得电子,还原成氮原子而渗人钢件表面并向内部扩散,形成渗氮层。


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