湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
1992年,roth小组在5mm---气间隙实现了apgd,并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了apgd, 主要的实验条件为湿度低于15% 、气体流速50l/min、频率为3khz的电源并且和负载阻抗匹配。他们认为“离子捕获”是实现apgd的关键。
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操作比气体渗氮复杂,离子氮化,需要控制的厂艺参数多,测量温度和控制温度均匀比较难;装炉有严格要求,装炉---或形状不同、大小不同的零件混装炉容易出现渗层不均匀等疵病,造成废品或返修;设备费刚贵,有时需要配置辅助阳极等。
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溅射靶起辉放电后,当电源的输出脉冲的重复频率足够高时,由于真空腔体内的导电离子还没有完全被中和完毕,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压与溅射靶的工作电压接近或相同。当电源输出脉冲的重复频率很低(例如几百hz以下)或灭弧时间过长(大于100ms以上),溅射靶起辉放电后,由于真空腔体内的导电离子已基本被中和掉,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压恢复至较高数值,与点火起辉时的高电压接近或相同。??
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