离子氮化炉-湖北丰热科技

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），制造辉光离子渗氮炉的---企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

1933年德国von engel首1次---了研究结果 ，利用冷却的裸电极在---压氢气和空气中实现了辉光放电，但它很容易过渡到电弧，并且必须在低气压下点燃，即离不开真空系统。1988年，kanazawa等人---了在---压下使用---气获得了稳定的apgd的研究成果，并通过实验总结出了产生apgd要满足的三个条件：（1）激励源频率需在1khz以上；（2）需要双介质dbd；（3）必须使用---气气体。此后，离子氮化炉，日本的okazaki、法国的massines和美国的roth研究小组分别采用dbd的方法，用不同频率的电源和介质，在一些气体和气体混合物中宣称实现了---压下“apgd”。

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），制造辉光离子渗氮炉的---企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

溅射靶起辉放电后，当电源的输出脉冲的重复频率足够高时，由于真空腔体内的导电离子还没有完全被中和完毕，第二个(以后)重复脉冲的复辉电压与溅射靶的工作电压接近或相同。当电源输出脉冲的重复频率很低(例如几百hz以下)或灭弧时间过长(大于100ms以上)，溅射靶起辉放电后，由于真空腔体内的导电离子已基本被中和掉，第二个(以后)重复脉冲的复辉电压恢复至较高数值，与点火起辉时的高电压接近或相同。??