离子氮化炉-湖北丰热科技有限公司

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），制造辉光离子渗氮炉的---企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

1933年德国von engel首1次---了研究结果 ，利用冷却的裸电极在---压氢气和空气中实现了辉光放电，但它很容易过渡到电弧，并且必须在低气压下点燃，即离不开真空系统。1988年，kanazawa等人---了在---压下使用---气获得了稳定的apgd的研究成果，并通过实验总结出了产生apgd要满足的三个条件：（1）激励源频率需在1khz以上；（2）需要双介质dbd；（3）必须使用---气气体。此后，离子氮化炉，日本的okazaki、法国的massines和美国的roth研究小组分别采用dbd的方法，用不同频率的电源和介质，在一些气体和气体混合物中宣称实现了---压下“apgd”。

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），制造辉光离子渗氮炉的---企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

?选用正弦波中频靶电源，由于波形的原因，靶面产生打弧的几率---并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层要求较高的溅射工艺。??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2pa)。??