湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
两种靶电源不同之处:选用(工艺型)双极矩形波或正弦波中频靶电源,因其输出的电压和电流的占空比可以大范围连续调节,镀膜时电源的工艺参数适应范围比“经济型”中频靶电源要宽很多;适用于需要经常变化的磁控溅射镀膜工艺和不同材质的膜层。?(经济型)双极性矩形波或正弦波中频靶电源的输出电压或电流的工艺调节范围偏窄,若相关参数选配合适,一般可用于磁控溅射镀膜工艺相对固定和单一的工业生产中,其优点是靶电源价格可以相对便宜。??
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利用稀薄气体的辉光放电现象加热工件表面和电离化学热处理介质,离子氮化炉,使之实现在金属表面渗入欲渗元素的工艺称为辉光放电离子化学热处理,简称离子化学热处理。因为在主要工作空间内是等离子体,故又称等离子化学热处理。
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1933年德国von engel首1次---了研究结果 ,利用冷却的裸电极在---压氢气和空气中实现了辉光放电,但它很容易过渡到电弧,并且必须在低气压下点燃,即离不开真空系统。1988年,kanazawa等人---了在---压下使用---气获得了稳定的apgd的研究成果,并通过实验总结出了产生apgd要满足的三个条件:(1)激励源频率需在1khz以上;(2)需要双介质dbd;(3)必须使用---气气体。此后,日本的okazaki、法国的massines和美国的roth研究小组分别采用dbd的方法,用不同频率的电源和介质,在一些气体和气体混合物中宣称实现了---压下“apgd”。
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