湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
辉光放电进行渗氮的工艺,与气体渗氮相比渗入速度快。由于离子氮化法利用了离子化了的气体的溅射作用,因而可---地缩短处理时间(离子渗氮的时间仅为普通气体渗氮时间的1/3~1/5)。
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1933年德国von engel首1次---了研究结果 ,利用冷却的裸电极在---压氢气和空气中实现了辉光放电,但它很容易过渡到电弧,并且必须在低气压下点燃,即离不开真空系统。1988年,kanazawa等人---了在---压下使用---气获得了稳定的apgd的研究成果,并通过实验总结出了产生apgd要满足的三个条件:(1)激励源频率需在1khz以上;(2)需要双介质dbd;(3)必须使用---气气体。此后,日本的okazaki、法国的massines和美国的roth研究小组分别采用dbd的方法,用不同频率的电源和介质,在一些气体和气体混合物中宣称实现了---压下“apgd”。
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的---企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,离子氮化炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
射频磁控溅射气体放电时,由于射频靶电源输出交变高频正弦电压波形,致使电子碰撞工作气体的几率大为增多,工作气体离化率高,等离子阻抗低,射频磁控溅射膜层沉积速率为二极射频溅射的---。辉光放电的特征是电流强度较小(约几毫安),温度不高,故电管内有特殊的亮区和暗区,呈现瑰丽的发光现象。 。
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